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基于金属催化化学腐蚀的硅纳米线可控制备

陈梓铭 , 王志恒 , 陈颖聪 , 陈津桥 , 肖经洋 , 姚日晖

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.12.024

硅纳米线由于其独特的光电特性，被认为是最具前景的光电材料之一。本文关注于使用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线当中各种可控参数的影响，成功地完成了硅纳米线制备。研究发现，高电镀液浓度与长电镀时间都会形成小密度的硅纳米线阵列；而腐蚀液浓度控制着腐蚀速率与硅纳米线的形貌。腐蚀时间对硅纳米线长度和密度都具有一定的影响；而使用氮气干燥能够改善硅纳米线的聚集情况。

关键词: 金属催化化学腐蚀 , 硅纳米线 , 制备 , 可控参数